
产品信息:
品质保证/超长质保/运转无忧
型号
Model |
DSX_21_12 |
玻璃
Glass |
石英玻璃
Quartz glass |
冷却方式
Cool method |
风冷
Air cooled |
照射方向
Strahlrichtung |
由下往上照射
It shines from the top down |
发光体
luminous body |
365nm |
功率
Power |
2KW |
发光面积
ight area |
310mm(可定做) |
照度
lluminance |
600mw/cm2 |
均匀度
Uniformity |
90% |
机台电压
Machine voltage |
220V |
产品特点:
◆机身小巧,适合6/8/10/12寸芯片整片照射使用
◆时间和亮度可调,触屏操作,简单方便
◆自下而上照射,方便放置晶圆
◆LED冷光源环保产品,具有温度低、曝光均匀、结构紧凑、能耗小、是半导体行业的理想机型,且低温对热敏材料无损害
◆使用寿命比普通汞灯寿命长10倍以上,连续使用寿命15000-30000H。
◆零维护成本,长期工作无需更换照射光源零件
◆封闭式光源设计,无紫外线侧漏,对人体无损伤

