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| 产品信息 | |||
| 品质保证/超长质保/运转无忧 | |||
| 设备技术参数： | |||
| 名称 | 晶圆扩膜机 | 型号 | DSXUV-WE8 |
| 设备尺寸 | L693*W445*692mm | 适应产品尺寸 | 晶圆3-8英寸 |
| 子母环大小 | 外环：249mm,内环：227mm | 功率 | <400W |
| 额定电压 | AC 220V | 频率 | 50/60HZ |
| 工作盘上升高 度/台盘加热 温度 |
10-60mm/室温0-80℃ (恒温设计) |
气压 | 0.5-0.6Mpa |
| 胶膜类型 | 蓝膜、UV膜、PVC膜等等 | 胶膜厚度 | 0.05-0.2mm |
| 切膜方式 | 圆周刀自动切膜 (因受圆周刀局限，台面 需上升20mm后切割) |
扩膜功能 | 半自动式/手动控制 |
| 重量 | 大约60kg | 质保期 | 全新产品，非人为损坏，整机 质保一年 |
优势特点：
1).扩膜的高度和速度可通过触摸屏数字设定；
2).工作盘具有恒温加热功能，有助于膜的延展性；
3).调整工作盘上升的高度，即可调整经理之间的间距；
4).选配上置圆切自动割膜功能；
5)装有气弹簧，翻盖省力功能；
6).7英寸触摸屏，显示参数，执行步骤，故障报警；
7).采用电机升降和进口气缸升降完成扩膜工序，保证扩膜的一致性；
8).采用进口PLC做控制系统，可设定台盘上升的预热延时，扩膜延时等功能，更好的提升
| 扩膜机设备工艺要求 | ||
| 序号 | 内容 | 参数 |
| 1 | 扩膜尺寸 | 可扩膜的最大范围是小于或等于6寸晶圆 |
| 2 | 扩膜质量 | 无崩膜，破膜，扩膜后，产品的圆心度误差± 2mm以内 |
| 3 | 扩膜机的X、Y方向偏差 | 3毫米(排除贴膜时，晶圆放置的偏差) |
| 4 | 扩膜环和贴片环可固定 | 装有铁环放置定位销 |
| 5 | 工作盘恒温设计 | 膜周边扩张均匀适度 |
| 6 | 参数 | 加热温度，扩张时间、回程速度均可调 |
| 7 | 特点 | 工作盘升降过程中不会挤压晶圆 |
技术服务：
1).卖方免费指导、安装调试、技术支持、培训、维修；
2).设备安装调试验收完成后12个月内卖方负责一年内免费保修(包括正常使用下损坏的配件)
3).保修期满后卖方仍负责技术支持，卖方有偿提供零部件；
4).卖方提供电话咨询维修服务，及到厂紧急故障排除；
