CN

13823605006

产品中心

晶圆UV解胶机05

产品简介

产品参数

1(1)(1).png

 

产品信息
品质保证/超长质保/运转无忧
产品参数:
框架尺寸:6,8,12英寸 装卸方式:手动取放。
膜 种 类 :UV膜 产品定位:定位销定位
晶圆规格:12英寸及以下 电力供应:220V 350W 8A
照射光源:LED  紫外光源冷光源波长365nM 体积(宽*深*高):645mm*620mm*195mm
放射强度:600-1000mW/cm2 净重:40kg
放置治具:6,8,12可以互相切换 设备性能:PLC +触摸屏软件控制

 

多通道UV解胶机特点:

1,可同时放入多种尺寸晶元环,含6寸、8寸、12寸以及其他定制尺寸

2,多通道设计,可同时解胶,也可分别独立解胶

3,解胶照度和能量百分比调节功能,照度可调。

4,时间调节

5,解胶完毕提示功能

6,依然采用紫外线从下往上辐射的照射方式,紫外线颗直接辐射到UV膜,避免了对晶元辐射损伤

7,封闭式解胶,对人体不产生任何影响

8,紫外线为LED封装形式,无需预热,节省时间

9,进口UVLED光源,寿命至少2万个小时

其它规格:
适用尺寸 尺 寸 适用晶圆 厚度MM 编号 材质
6寸 211.5*211.5*1.5 150mm(6寸) 1.2~1.5 DSMTQB06 SUS420J2
8寸 275.2*275.2*1.2 200mm(8寸) DSMTQE08
10寸 324*324*1.5 250mm(10寸) DSMTQB08
12寸 380*380*1.5 300mm(12寸) DSMTOAMO