| 产品信息 | |||
| 品质保证/超长质保/运转无忧 | |||
| 型号 Model | DSX_21_12 | 玻璃 Glass | 石英玻璃 Quartz glass |
| 冷却方式 Cool method | 风冷 Air cooled | 照射方向 Strahlrichtung | 由下往上照射 It shines from the top down |
| 发光体 luminous body | 365nm | 功率 Power | 2KW |
| 发光面积 ight area | $310mm | 照度 lluminance | 600mw/cm2 |
| 均匀度 Uniformity | 90% | 机台电压 Machine voltage | 220V |
产品特点：
◆机身小巧，适合6/8/10/12寸芯片整片照射使用
◆时间和亮度可调，触屏操作，简单方便
◆自下而上照射，方便放置晶圆
◆LED冷光源环保产品，具有温度低、曝光均匀、结构紧凑、能耗小、是半导体行业的理想机型，且低温对热敏材料无损害
◆使用寿命比普通汞灯寿命长10倍以上，连续使用寿命15000-30000H。
◆零维护成本，长期工作无需更换照射光源零件
◆封闭式光源设计，无紫外线侧漏，对人体无损伤
